在此技術中，基板上圖案的形成不再用光學方法，而改用特定圖案的模子，以沾黏硫醇分子將其轉印至鍍金的基板上，或直接以較硬的剛性模子將圖案壓印在高分子蝕刻阻劑層上。前者為哈佛大學化學及生物化學系懷特賽（G. M. Whitesides）教授所開發的微接觸印刷技術，又稱為軟微影蝕刻；後者則是普林斯頓大學電機系周郁教授所開發的奈米壓印蝕刻技術。
上一世紀六○年代，諾貝爾物理學獎得主費曼（R. Feynman）教授提出著名的演講〈底部還有很多空間〉（There is plenty of room at the bottom.），曾預先為奈米科技勾繪出一幅藍圖，他樂觀地期待經由移動一顆顆原子的方式，人類可按造自己意志排列原子或分子，將創造出令人驚豔的世界。這個想法至一九八一年才得以初步實現。該年掃描探針顯微鏡家族的第一位成員掃描穿隧顯微鏡（STM）出現，一方面協助人類直接觀察原子，另一方面也實現操縱單分子或原子的可能性。
