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推進微影技術二十代
108/10/02
瀏覽次數
2957
林本堅
|
中央研究院院士
林本堅博士是浸潤式微影技術的開創者,鑽研微影學將近半世紀,本演講將介紹半導體微影技術的發展歷程。
資料來源
原標題:Pushing Lithography for 20 gen Sent
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