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推進微影技術二十代

108/10/02 瀏覽次數 3163
林本堅｜ 中央研究院院士
林本堅博士是浸潤式微影技術的開創者，鑽研微影學將近半世紀，本演講將介紹半導體微影技術的發展歷程。
 
資料來源
  • 原標題：Pushing Lithography for 20 gen Sent

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