我們的手機、電腦效能愈來愈強大，來自於積體電路（Integrated Circuit, IC）上的元件愈做愈小。為了做出這些小到不行的元件，IC製程必須一直進步，而微影製程在整個製程中扮演極重要的角色，也在不斷升級中！臺灣科技大學電機系教授方劭云針對微影製程的進化，做了許多研究，一起來聽聽她怎麼說。