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電漿–現代科技發展的隱形發動機
102/04/17
瀏覽次數
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吳宗信
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交通大學前瞻火箭研究中心主任
面臨氣候暖化及能源問題,國家對於環保能源逐漸走向減少廢棄物產出與再利用。台灣目前發達產業非半導體產業莫屬,現在最新IC製程設備其中50%都有用到電漿,電漿技術如何投入環保能源領域,並推展至產業應用,獲得更具優勢與效率的動力能源。本屆演講第十場(2013年04月14日)邀請交通大學機械系吳宗信教授,讓我們了解「電漿–現代科技發展的隱形發動機」。
半導體(62)
電漿(10)
IC(4)
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