科技
102/10/04
歐洲開發下一代MEMS應用關鍵技術
歐洲擬開發下一代MEMS元件應用的關鍵技術和試產生產線,其主要重點在將壓電與磁性薄膜材料製程和現有MEMS矽微加工製程技術整合,以及結合3D IC等先進電子封裝技術。
李俊宏|
國家實驗研究院高速網路與計算中心高速計算技術與應用組